Зеленоградский завод «Микрон» (входит в группу компаний «Элемент») выиграл контракт Минпромторга на разработку автоматизированной установки измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах. Стоимость работ составила 1,56 млрд рублей, передает Cnews.
Оборудование под шифром «Лучник» предназначено для контроля точности наложения слоев в процессе изготовления интегральных микросхем. Установка должна работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм, измерять рассовмещение по меткам совмещения с проектными нормами до 130 нм. В техническом задании предусмотрено сканирование структур слоев с помощью встроенного интерферометра в оптической колонне, формирование данных для коррекции экспонирования и другие функции. Производительность — не менее 75 пластин в час.
Проект создается как отечественный аналог американской установки ARCHER 10 XT компании KLA Tencor (США). Название «Лучник» — прямой перевод английского Archer.
Минпромторг объявил конкурс зимой 2025 года, выделив на него 1,61 млрд рублей. «Микрон» снизил цену на 48,3 млн рублей и победил в конкуренции с еще одной компанией (ее название в открытых документах не раскрыто). Срок завершения работ — 31 июля 2029 года.
«Микрон» — один из ведущих российских производителей микроэлектроники, специализирующийся на выпуске интегральных схем, в том числе по технологиям до 65 нм. Разработка собственного метрологического оборудования позволит усилить локализацию ключевых этапов производства чипов в условиях ограничений на импорт высокотехнологичного иностранного оборудования.
